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半导体洁净车间需要注意的事项

时间:2019-12-07 09:20 来源:www.haoxinrui.com
半导体组件空间单位都是以微米来计算的,所以微尘颗粒附着在制作半导体组件的晶圆上,很有可能影响到上面的精密导线布局的样式,造成短路(电流不经用电器、直接连电源两极)或断路情况。秒速牛牛技巧河南统洁空调净化工程公司和大家分享半导体洁净车间需要注意的事项。
 
1.无尘车间目前级别zui高的当属航天航空的航空仓,基本是属于1级,因为其特殊领域,面积相对较小。另外对级别要求较高的是生化实验室和高精纳米材料生产车间,物联网芯片的发展将是未来需求的一大方向。
 
洁净车间净化工程中各级空气洁净度的空气净化处理,均应采用初效、中效、高效空气过滤器三级过滤。十万级空气净化处理,可采用亚高效空气过滤器代高效空气过滤器。半导体洁净车间内部要确保粉尘(形态:固体微粒)只出不进,因此洁净车间室内要保持大于大气压的环境,这就需要用大型鼓风机将经净化设备的空气源源输入洁净车间中。
 
2.为保持恒温恒湿,大型空调设备须搭配前面的鼓风加压系统使用。鼓风机加压多久,空调就得开多久。
 
3.所有经净化设备的空气流动方向均由上往下为主,因此洁净车间室内空间设计或机台摆放应避免突兀,使尘埃特殊结构:荚膜、鞭毛、菌毛等在洁净车间内回旋停滞的机会与时间减至zui低程度。
 
4.所有建材均以不易产生静电(是一种处于静止状态的电荷)吸附的材质为主。
 
5.所有人或事物进出洁净车间,人必须穿配套防尘服,人或事物都要经过风淋室吹淋以将表面粉尘(形态:固体微粒)先行除掉。
 
6.净化车间是指控制产品 (如硅芯片等) 所接触大气的洁净度及温湿度,使产品能在一个良好的环境空间中生产、制造。此环境空间的设计施工过程即可称为净化工程。
 
半导体洁净车间内水的使用只限用去离子水:一是防止水中粉粒污染晶圆,二是防止水中重金属离子污染金氧半晶体管结构的带电载子信道(指通信的通道、是信号传输的媒介),影响半导体组件的工作特性。去离子水是最佳的溶剂与清洁剂,在半导体工业的使用量非常惊人。
 
7.半导体洁净车间用到的气源,包括吹干晶圆和机台空压所需要的,都需要使用98%氮气,吹干晶圆的氮气甚至要求99.8%以上的高纯氮。
 
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